크린룸에서 사용하는 Special Process Gas는 종류에 따라 가연성, 독성, 자연발화성, 부식성 등의 성분이 매우 강하며 허용량이 PPM이하에서 치사량을 갖는 맹독성의 Gas 가 대부분이기 때문에 운송, 보관, 취급, 교환 등에 주의가 필요하다. Gas 중앙공급 장치는 Clean Room에 설치되어 있는 Pecvd 및 Icp ZONE에 GAS를 필요한 양 만큼 안전하게, 요구하는 것에 따라 자동적으로 Cleaning 된 Gas을 공급하는 것을 목적으로 설계 제조된 System으로 자동 공급함으로서 Gas의 운반 과정에서 발생할 수 있는 사고를 예방하며, Clean Room에 Gas를 공급시 Particle 발생 및 안전을 고려한 공급 하는 System이다