Chemical 중앙공급 장치는 Clean Room에 설치되어 있는 Wet Station 및 CMP ZONE에 Chemical 을 필요한 양 만큼 안전하게, 요구하는 것에 따라 자동적으로 Cleaning 된 Chemical을 공급하는 것을 목적으로 설계 제조된 System으로서 자동 공급함으로서 약액의 운반 과정에서 발생할 수 있는 사고를 예방하며, Clean Room에 Chemical을 공급시 Particle 발생 및 안전을 고려한 공급 System이다.